Serdülőkorba ért a MEMS
Az elektronika látványos vívmányait már a közeli időben ki fogják egészíteni miniatűr mechanikai elemek és készülékek alkalmazásával, hogy a két terület kombinációjával korábban megvalósíthatatlannak tartott funk- ciókat tudjanak kialakítani és ellátni. Az új, MEMS (Micro-electromechanical Systems) néven megismert eszközöket olyan területen alkalmazzák majd, mint az optikai átvitel, illetve kapcsolás, a gyógyászat, emellett felhasználják őket biztonsági légzsákok működtetésére, a tintasugaras nyomtatók miniatűr fecskendőiben, nyomásmérő készülékekben és vetítőkben. Gyártanak belőlük miniatűr szelepeket, szivattyúkat, pozicionálóegységeket (aktuátorokat), az egyik változatuk képes arra, hogy érzékelt mechanikai mozgást elektromos jelként képezzen le.
A MEMS-eszközök előállításánál óriás előny jelentkezik azon cégeknél, amelyek a félvezetőgyártás során jártasságot szereztek a miniatűr struktúrák kezelésében. Az integrált áramköröket előállító vállalatok körében további előnyt jelent az, hogy a miniatűr mechanikai elemeket gyakorta kell félvezetőlapkákra kiszerelni, hogy a szintén ott kialakított elektronikával együtt lehessen bonyolult, programozott logikán alapuló funkciókat megvalósítani. A megmunkálásra korábban gyakorta használták a "nanotechnológia" megjelölést, jóllehet a készített MEMS-eszközök nagyobbrészt még három nagyságrenddel nagyobb méretskálában készülnek: legtöbbjük a mikronos nagyságrenddel jellemezhető Az apró készülékek alkatrészeit vagy vegyi úton - maratással - állítják elő, vagy különleges megmunkálási (forgácsolási) eljárással.
Az utóbbi évtized során a szektor az embrionális állapotból a serdülőkornak megfelelő stádiumba jutott. A MEMS-eszközök 2001-es forgalma világszinten elérte a 3,8 milliárd dollárt, gyártásuk a globális viszonylatban jelentkező konjunkturális problémák ellenére több területen is tovább bővül.
A termelés gyors felfutását gátolja, hogy hosszú időre van szükség a tömeggyártás megvalósításáig. Zavaró emellett az alkalmazott gyártási eljárások tarka sokasága, amit a készített eszközök sokféle rendeltetése bizonyos mértékig indokol: egyes esetekben a miniatűr mechanikai alkatrészeket óvni kell a fénytől, máskor vákuumban kell őket elhelyezni, megint más esetben különleges gáz vagy folyadék közegében kell működniük. A sokrétű bonyodalmak ellenére 2006-ig az adott piaci szegmensnek évi 19 százalékos növekedést jósolnak.
